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-135℃~+225℃,可以滿足不同溫度的需求，可非標定制； 可選配精確控溫形式，控溫精度最高可達±0.1℃; 采用高效換熱器，降溫速度快，常溫至-80℃最快只需5分鐘； 可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水。 可選配進氣流量自動控制與檢測

主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度。 在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

應用于元器件的特性分析、高低溫溫變測試、溫度沖擊測試、失效分析等可靠性試驗，此類設備解決傳統(tǒng)高低溫箱無法滿足的局部測試要求,設備移動方便、適合對眾多元器件的某個單個元器件或具有平坦表面且結構扁平器件的高低溫測試。

采用現有的熱能(如蒸汽、冷卻水及超低溫液體等)集成到用來控制工藝設備溫度的單流體系統(tǒng)或二級回路中，構成單熱傳導液體在反應容器夾套中的非接觸式溫度控制系統(tǒng)