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液晶面板測試溫控設(shè)備又叫：LCD液晶恒溫測試機(jī)、平板顯示精密恒溫機(jī)、液晶面板精密恒溫機(jī)、液晶平板恒溫機(jī)

主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。

熱控卡盤和熱控平板提供了一個精確可控的溫度平臺，可以快速加熱、冷卻或保持溫度，是測試具有平坦表面并且結(jié)構(gòu)扁平器件的理想方式。

接觸式高低溫沖擊機(jī)是一種能夠在極短時間內(nèi)對試樣施加極高或極低溫度的測試設(shè)備。它采用了先進(jìn)的溫度控制技術(shù)和高性能的制冷/加熱系統(tǒng)，能夠在瞬間將試樣從高溫驟降至低溫，或從低溫迅速升至高溫，從而模擬出極端環(huán)境下的溫度變化情況。

主要用于半導(dǎo)體流片測試設(shè)備中、提供晶圓測試所需要的溫度進(jìn)行精密控制，以達(dá)到測試所需要溫度。

對應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)等的曝光設(shè)備、涂布/顯影設(shè)備中，制程腔體內(nèi)的環(huán)境空氣溫濕度進(jìn)行精密控制，以保證制品良率。