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通過機組自身的高效換熱系統(tǒng)，將進入裝置內(nèi)的干燥氣體(如氮氣，氬氣或空氣)從環(huán)境溫度冷卻到低溫恒溫狀態(tài)， 設(shè)備出來的氣體即可達到目標低溫溫度。

依據(jù)不同工藝制程要求，控制設(shè)定溫度、壓力、揚程的循環(huán)液流經(jīng)半導(dǎo)體工藝設(shè)備，如：chuck盤（晶圓卡盤）、載物臺等，以實現(xiàn)半導(dǎo)體工藝制程的控溫需求。

直冷制冷機是將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進入需控溫的換熱器或控制腔體元件內(nèi)，從而使目標設(shè)備快速降溫恒溫

此類設(shè)備解決傳統(tǒng)高低溫箱無法滿足的局部測試要求,方便移動、包含以下：

1、高低溫沖擊熱流儀
2、接觸式高低溫沖擊機
3、熱控卡盤、平板

此設(shè)備采用半導(dǎo)體制冷片(TEC)實現(xiàn)加熱制冷功能，優(yōu)點：體積小、噪音低、熱效率高，適合高精度測試儀器、醫(yī)美設(shè)備等高精度控溫需求。

液晶面板測試設(shè)備又名：LCD液晶恒溫測試機、平板顯示精密恒溫機、液晶平板恒溫機。主要用于面板廠、晶圓廠、封裝測試廠精密溫濕度控制