溫濕度控制系統(tǒng)
對(duì)應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)等的曝光設(shè)備、涂布/顯影設(shè)備中，制程腔體內(nèi)的環(huán)境空氣溫濕度進(jìn)行精密控制，以保證制品良率。
對(duì)應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)等的曝光設(shè)備、涂布/顯影設(shè)備中，制程腔體內(nèi)的環(huán)境空氣溫濕度進(jìn)行精密控制，以保證制品良率。
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主圖11-8-7.jpg)
直冷型制冷機(jī)采用制冷劑直接蒸發(fā)，降溫方式為相變制冷，與液冷的溫差降溫相比，降溫速度快，能效高，設(shè)備無循環(huán)系統(tǒng)，外形尺寸更緊湊！
主圖1228-1.jpg)
應(yīng)用于元器件的特性分析、高低溫溫變測試、溫度沖擊測試、失效分析等可靠性試驗(yàn)，此類設(shè)備解決傳統(tǒng)高低溫箱無法滿足的局部測試要求,設(shè)備移動(dòng)方便、適合對(duì)眾多元器件的某個(gè)單個(gè)元器件或具有平坦表面且結(jié)構(gòu)扁平器件的高低溫測試。
采用現(xiàn)有的熱能(如蒸汽、冷卻水及超低溫液體等)集成到用來控制工藝設(shè)備溫度的單流體系統(tǒng)或二級(jí)回路中，構(gòu)成單熱傳導(dǎo)液體在反應(yīng)容器夾套中的非接觸式溫度控制系統(tǒng)
主圖1115-3.jpg)
隨著半導(dǎo)體元器件行業(yè)的發(fā)展，各種電子元器件在各種復(fù)雜環(huán)境下的性能測試顯得突出，高低溫測試機(jī)作為一種專門用于模擬和測試電子元器件在各種環(huán)境下的性能的設(shè)備。
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