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主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。 在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

熱控卡盤平板又叫控溫卡盤、控溫平板、快速溫變卡盤、高低溫控溫卡盤，該設(shè)備系統(tǒng)自身帶制冷系統(tǒng)，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一個(gè)精確可控的溫度平臺，可以快速加熱、冷卻或保持溫度，

又叫做：接觸式高低溫設(shè)備、接觸式局部快速溫變儀、接觸式芯片高低溫測試設(shè)備，通過測試頭與待測器件直接貼合的方式實(shí)現(xiàn)能量傳遞，與傳統(tǒng)氣流式高低溫設(shè)備（熱流儀、溫箱等）相比具有升降溫效率高，操作簡單方便，體積小巧，噪音低等特點(diǎn)。

采用一組冷卻換熱器，一組加熱換熱器，通過比例調(diào)節(jié)閥控制冷熱量進(jìn)入到換熱器，再通過統(tǒng)一介質(zhì)輸入到反應(yīng)釜夾套進(jìn)行換熱控溫，系統(tǒng)內(nèi)置有膨脹罐。