氣體溫濕度調(diào)節(jié)裝置(ACU)
在溫度控制方面,其精度可達(dá) ±0.1℃。無論是高溫環(huán)境下的穩(wěn)定維持,還是低溫狀態(tài)的精準(zhǔn)把控,都能輕松應(yīng)對(duì)。
在溫度控制方面,其精度可達(dá) ±0.1℃。無論是高溫環(huán)境下的穩(wěn)定維持,還是低溫狀態(tài)的精準(zhǔn)把控,都能輕松應(yīng)對(duì)。
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ADVANTAGE
在溫度控制方面,其精度可達(dá) ±0.1℃。無論是高溫環(huán)境下的穩(wěn)定維持,還是低溫狀態(tài)的精準(zhǔn)把控,都能輕松應(yīng)對(duì)。
氣體溫濕度調(diào)節(jié)裝置(ACU)恒溫恒濕機(jī)在基板曝光前,能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣,溫度控制精度可達(dá)目標(biāo)值士0.01°℃,充分滿足制程環(huán)境對(duì)溫控的極致要求。該設(shè)備的應(yīng)用,不僅確保了產(chǎn)線環(huán)境的穩(wěn)定,更為產(chǎn)品的高良率提供了堅(jiān)實(shí)保障。在精密制造領(lǐng)域,恒溫恒濕機(jī)的這一卓越性能,無疑為生產(chǎn)流程的順暢與品質(zhì)的提升貢獻(xiàn)了不可或缺的力量。
TCU Series 精密恒溫恒濕機(jī)-135℃~+225℃,可以滿足不同溫度的需求,可非標(biāo)定制; 可選配精確控溫形式,控溫精度最高可達(dá)±0.1℃; 采用高效換熱器,降溫速度快,常溫至-80℃最快只需5分鐘; 可選配冷量回收裝置,提升能效,避免低溫冷凝水。 可選配進(jìn)氣流量自動(dòng)控制與檢測
低溫冷氣機(jī)直冷型制冷機(jī)采用制冷劑直接蒸發(fā),降溫方式為相變制冷,與液冷的溫差降溫相比,降溫速度快,能效高,設(shè)備無循環(huán)系統(tǒng),外形尺寸更緊湊!
直冷型制冷機(jī)OUR
SERVICE
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