了解最新国产一区二区影院_成人综合亚洲区自拍_亚洲香蕉伊在人在线观看9_国产欧美综合另类第1页_欧美男男大粗吊1069_歐美一區二區三區影院_无码高潮少妇毛多水多水免费_亚洲精品视频天堂_免费10款夜里禁用b站app_国产永久成人免费播放视频

晶圓級(jí)探針臺(tái)溫控設(shè)備

主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設(shè)備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

全密閉系統(tǒng)：采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計(jì)，整個(gè)循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導(dǎo)熱油不會(huì)直接與空氣接觸，延長了導(dǎo)熱油使用壽命同時(shí)確保系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時(shí)無油霧產(chǎn)生。
控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法，能夠盡快的響應(yīng)過程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過沖?？刂朴蓛山MPID（每組PID是可變的）控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值，通過這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。
高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統(tǒng)的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積）。
控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品外觀：外觀設(shè)計(jì)吸取國外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，采用大口徑石英玻璃液位計(jì)，液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè)，觀察方便，風(fēng)格簡約時(shí)尚，比列協(xié)調(diào)，專有的色彩搭配。
超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿足在最高350℃高溫直接通入冷卻水實(shí)現(xiàn)快速降溫。
質(zhì)量保障