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半導(dǎo)體熱電制冷器

半導(dǎo)體熱電制冷器又叫做：半導(dǎo)體式冷水機(jī)、半導(dǎo)體溫控臺(tái)、精密半導(dǎo)體冷卻器，該系統(tǒng)由半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)、循環(huán)水冷系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)及測(cè)量治具載臺(tái)等裝置組成。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP實(shí)驗(yàn)室精密裝置、高精度測(cè)試儀器等等

溫控范圍10~60℃，可擴(kuò)展：-20℃~90℃；
控制精度0.05℃，可實(shí)現(xiàn)多種不同通訊方式；
可配備獨(dú)立的控溫通道，單通道、雙通道、四通道可定制；
具有定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面下降、水泵防凍給、遠(yuǎn)程控制、觸摸屏操控等功能；
本設(shè)備體積小巧，噪音低、耗電低、熱效率高。

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參數(shù)看清楚

型號(hào)

設(shè)備名稱
制冷方式
散熱方式
控制方式
循環(huán)流體
操作面板
溫度控制范圍
溫度穩(wěn)定性
制冷量
水箱容量
控溫通道數(shù)
接口尺寸
通信
噪聲
設(shè)備重量

半導(dǎo)體熱電制冷器

半導(dǎo)體熱電制冷器
熱電半導(dǎo)體
強(qiáng)制風(fēng)冷冷卻
PID算法控制
乙二醇水溶液/氟化液
7寸觸摸屏，中文顯示，操作簡(jiǎn)便、顯示直觀，可顯示、記錄溫度曲線和測(cè)試數(shù)據(jù)
10~60℃，可擴(kuò)展溫度范圍：-20℃~90℃。
±0.05℃
300~1200W(25℃）
約5L
單通道（雙通道，四通道可定制）
進(jìn)出口 G3/8
I/O,ETH,RS232、RS485
60dBA
約20kg

產(chǎn)品推薦

主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體專用多通道溫控設(shè)備

主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器（部分設(shè)備）、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

晶圓級(jí)探針臺(tái)溫控設(shè)備

給芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供精確且快速的環(huán)境溫度。替代液氮為局部熱源提供快速降溫。產(chǎn)品電性能、可靠性、老化等測(cè)試提供冷源

氣體制冷機(jī)

主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國(guó)際知名品牌。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、蓄冷容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。