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半導(dǎo)體專用多通道溫控設(shè)備

主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

產(chǎn)品分為：
1、單通道系列
2、雙通道系列
3、三通道系統(tǒng)

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參數(shù)看清楚

名稱

單通道系列
溫度范圍
精度
冷卻能力
加熱能力
流量
端口大小
溫度范圍
所需流量
端口大小
進(jìn)口壓力
雙通道系列
溫度范圍
精度
冷卻能力
加熱能力
流量
端口大小
溫度范圍
所需流量
端口大小
進(jìn)口壓力
三通道系列
溫度范圍
精度
冷卻能力
加熱能力
流量
端口大小
溫度范圍
所需流量
端口大小
進(jìn)口壓力

參數(shù)

-20℃~+80℃
±0.1℃
2kw@-10℃
3kw
20LPM@0.6MPa
Rc3/4"
15~20°C
15LPM
Rc1/2"
0.3~0.7MPa
-45℃~+40℃
±0.2℃
11kw@-20℃/5kw@-40℃
2kw
17LPM@0.6MPa
Rc3/4"
15~20°C
30LPM
Rc1/2"
0.3~0.7MPa
-20℃~+50℃
±0.1℃
15kw@-10℃
2kw
30LPM@0.85MPa
Rc3/4"
15~20°C
30LPM
Rc3/4"*2
0.3~0.7MPa

產(chǎn)品推薦

采用一組冷卻換熱器，一組加熱換熱器，通過比例調(diào)節(jié)閥控制冷熱量進(jìn)入到換熱器，再通過統(tǒng)一介質(zhì)輸入到反應(yīng)釜夾套進(jìn)行換熱控溫，系統(tǒng)內(nèi)置有膨脹罐。

二次換熱式TCU解決方案

采用現(xiàn)有的熱能(如蒸汽、冷卻水及超低溫液體等)集成到用來控制工藝設(shè)備溫度的單流體系統(tǒng)或二級(jí)回路中，構(gòu)成單熱傳導(dǎo)液體在反應(yīng)容器夾套中的非接觸式溫度控制系統(tǒng)

直通式TCU解決方案

在化學(xué)工業(yè)和制藥工業(yè)的產(chǎn)品開發(fā)和生產(chǎn)過程中，溫度控制對(duì)于安全和高質(zhì)量的反應(yīng)產(chǎn)品都是至關(guān)重要的，普泰克的PTHC系列適用于過程工業(yè) & 工藝過程工程，應(yīng)用于：夾套反應(yīng)釜、微通道反應(yīng)器、反應(yīng)裝置、組合化學(xué)等冷熱源動(dòng)態(tài)恒溫控制以及制藥行業(yè)中的低溫蒸餾、精餾、萃取等設(shè)備中。