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低溫冷卻液循環(huán)泵

全密閉系統(tǒng):采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計,整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔,載冷介質(zhì)不會直接與空氣接觸,延長了介質(zhì)使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性。 高效換熱系統(tǒng):制冷采用板式換熱器,換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊。 控制結(jié)果重復(fù)性:基于高級動態(tài)控制系統(tǒng),每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果,大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

全密閉系統(tǒng)
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產(chǎn)品推薦

半導(dǎo)體熱電制冷器又叫做:半導(dǎo)體式冷水機、半導(dǎo)體溫控臺、精密半導(dǎo)體冷卻器,該系統(tǒng)由半導(dǎo)體制冷系統(tǒng)、循環(huán)水冷系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)及測量治具載臺等裝置組成。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置,CMP實驗室精密裝置、高精度測試儀器等等

半導(dǎo)體熱電制冷器
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普泰克TCU溫控單元PTCU系列探索和利用現(xiàn)有的各種主要能源,如:如熱油,蒸汽,冷凍鹽水和冷油等,應(yīng)用于攪拌罐、化學(xué)、制藥、生物反應(yīng)器、材料測試研究、生產(chǎn)的溫度控制,一臺TCU溫控單元系統(tǒng),可實現(xiàn)多臺反應(yīng)釜不同工藝的控溫需求。目的在于集成已有的系統(tǒng),并充分利用已有的初級能源。

TCU溫控單元
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主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。加熱循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。冷卻系統(tǒng)包括油水換熱器、油油換熱器(部分設(shè)備)、冷卻水電磁閥、高溫電磁閥等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項保護功能,確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件要求。

晶圓級探針臺溫控設(shè)備
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